隨著微電子技術和納米技術的快速發展,光刻技術成為了半導體制造和高精度微加工中的核心技術。尤其是半自動光刻機,憑借其較高的性價比和較為靈活的操作模式,已經在許多高精度微加工領域中得到了廣泛應用。一、半自動光刻機的工作原理光刻技術通過利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發生化學...
表面光電壓譜采用白光偏置光路激發材料;大功率*脈沖激光器,采用電磁屏蔽,無任何外界干擾,測試光路,水平與垂直可任意在線切換,實現固體樣品和液體樣品均可測試分析。光生載流子動力學主要測試技術,載流子動力學測試技術主要有電學和譜學兩類,電學方法主要是光電化學,測量方式又分時間域和頻率域,時間域方法主要有瞬態光電壓(TPV)和瞬態光電流(TPC),頻率域方法主要有電化學阻抗譜(EIS)和光強度調制光電壓譜(IPVS)和光強度調制光電流譜(IMPS)等。譜學方法主要是瞬態吸收光譜和瞬...
多功能磁控濺射儀由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測,用于制備各種金屬膜、半導體膜、介質膜、磁控膜、光學膜、超導膜、傳感膜以及各種特殊需求的功能薄膜。磁控濺射儀的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子,新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發生濺射。在濺射粒子中,中性的靶...
狹縫擠出式涂布機是一款應用狹縫擠出式涂布模頭對基材進行非接觸式涂布的一款設備。該設備通過配置狹縫擠壓涂布模頭、精密計量供料系統與進料閥體配合可實現連續涂布和條紋涂布兩種類型的涂布功能。設備涂布精度高,一致性和穩定性好,廣泛應用于鋰離子電池、FCCL、光學薄膜、膠帶以及各種功能薄膜行業,狹縫擠出涂布方式,涂布精度高,涂層一致性好;供料閥體配合模頭墊片,可實現連續、間歇、條紋、網格等形狀的涂布;模頭根據客戶材料特性設計,可實現超薄亞微米級涂布;計量泵供料,漿料封閉運行,可自由設定...
深能級瞬態譜儀是半導體領域研究和檢測半導體雜質、缺陷深能級、界面態等的重要儀器。根據半導體P-N結、金-半接觸結構肖特基結的瞬態電容(△C~t)技術和深能級瞬態譜(DLTS)的發射率窗技術測量出的深能級瞬態譜,是一種具有高檢測靈敏度(檢測靈敏度通常為半導體材料中摻雜濟濃度的萬分之一)的實驗方法,能檢測半導體中微量雜質、缺陷的深能級及界面態。通過對樣品的溫度掃描,可以給出表征半導體禁帶范圍內的雜質、缺陷深能級及界面態隨溫度(即能量)分布的DLTS譜,集成多種全自動的測量模式及全...
表面光電壓譜主要應用于半導體材料或者器件的TPV測試和機理分析,光催化材料TiO2、C3N4、CdS、磷化物等、催化材料、分子篩、太陽能電池(單晶、多晶、染料敏化、鈣鈦礦)、光電化學的TPV、電化學材料的TPV等。光電壓譜采用白光偏置光路激發材料;大功率*脈沖激光器;采用專有技術的電磁屏蔽,無任何外界干擾;測試光路,水平與垂直可任意在線切換,實現固體樣品和液體樣品均可測試分析。光生載流子動力學主要測試技術,載流子動力學測試技術主要有電學和譜學兩類.電學方法主要是光電化學,測量...
氣溶膠粒徑譜儀觸摸屏式顯示和操作,集成網絡服務器,實時顯示測量數據,無需外接電腦,單臺儀器可以連續自動測量數周,儀器配置標準接口,過程控制系統或通用程序可以控制該儀器,所以特別適用于控制和監測。粉塵發生器用于測量不同高度的飄浮顆粒物。樣品流量由外置真空泵來維持供給,其流量大小由定流量孔口流量計來控制。儀器可實時檢測氣溶膠顆粒,粒徑范圍在0.25微米至32微米,具有31個粒徑通道,測量結果可顯示為顆粒數目濃度或選擇顯示為顆粒質量濃度。粉塵發生器易于安裝、結構靈活、使用方便,只需...
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