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半自動光刻機在高精度微加工中的實際應用
半自動光刻機在高精度微加工中的實際應用 2025-04-15

隨著微電子技術和納米技術的快速發展,光刻技術成為了半導體制造和高精度微加工中的核心技術。尤其是半自動光刻機,憑借其較高的性價比和較為靈活的操作模式,已經在許多高精度微加工領域中得到了廣泛應用。一、半自動光刻機的工作原理光刻技術通過利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發生化學...

  • 氣溶膠粒徑譜儀實現功能的合理化 2020-03-02

    氣溶膠粒徑譜儀觸摸屏式顯示和操作,集成網絡服務器,實時顯示測量數據,無需外接電腦,單臺儀器可以連續自動測量數周,儀器配置標準接口,過程控制系統或通用程序可以控制該儀器,所以特別適用于控制和監測。粉塵發生器用于測量不同高度的飄浮顆粒物。樣品流量由外置真空泵來維持供給,其流量大小由定流量孔口流量計來控制。儀器可實時檢測氣溶膠顆粒,粒徑范圍在0.25微米至32微米,具有31個粒徑通道,測量結果可顯示為顆粒數目濃度或選擇顯示為顆粒質量濃度。粉塵發生器易于安裝、結構靈活、使用方便,只需...

  • 多功能磁控濺射儀可靠性得到有效保證 2020-02-14

    多功能磁控濺射儀可以靈活運用多種膜生長技術,針對各種不同大小和形狀的樣品,非常方便切換沉積模式。多功能磁控濺射儀腔體的開放式設計,使得樣品大小從幾毫米到250毫米均可鍍層。樣品夾具可以輕松固定多個樣品并同時鍍膜。此系統真空腔內連接一個300mm寬的快速通道門,可以非常方便和快速地切換樣品和靶源。這對于薄膜制備研究機構,面對多種材料增加或改變沉積方式,轉換起來非常方便,并沒有任何空間限制。濺射儀主要用于納米級的單層及多層功能膜、各種硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜、鐵磁膜和磁性...

  • 狹縫擠出式涂布機實行了人性化操作方式 2020-02-06

    狹縫擠出式涂布機使用精密計量泵將過濾、除泡后的流體,保持恒定壓力輸送至超精密加工進口耐腐合金材料制擠壓腔體內,通過直線吐出口將流體流延到片幅上。銅箔(或鋁箔)由放料機構通過張力控制自動糾偏放料,通過擠壓頭將流體涂覆到箔帶表面,涂好的箔帶經烘箱烘干,通過糾偏及張力控制,整齊復卷到收料氣漲軸,連續涂布,間隙涂布,連續斑馬紋涂布,“田”字格涂布(間隙涂布配合斑馬紋涂布)。擠壓頭采用日本優質耐腐,新型超硬不銹鋼制作,采用進口精密計量泵供料,精密伺服電機驅動,保證漿料流速穩定。狹縫擠出...

  • 磁控濺射鍍膜機支持多種樣品襯底 2019-11-20

    磁控濺射鍍膜機是物理氣相沉積的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導體、絕緣體等多材料,且具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優點,而上世紀70年代發展起來的磁控濺射法更是實現了高速、低溫、低損傷。因為是在低氣壓下進行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。一、原理:磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子...

  • 球磨測厚儀優化加工工藝 2019-09-20

    球磨測厚儀允許用戶從10nm到250μm分析光學圖層厚度,用戶可以觀察到一副圖層厚度分辨率達到0.1nm的單圖,根據用戶選擇的軟件,用戶可以分析單圖層或者小于二分之一的多圖層,并且可以測量圖層厚度和半導體加工影像或者增透涂料。球磨測厚儀分析單一或者多層,分辨率到0.1nm,適用于原地,在線測量厚度,兩個共同的通道用來測量膜層特征,光譜反射/傳播和橢圓偏光,利用反射原理來測量入射光到達樣品表面后從薄膜反射過來的波段。很多圖層可以被認定是一個薄膜的堆積,很多的薄膜和基地原料都能被...

  • 快速化學淬滅系統保證其優良的強度性能 2019-09-11

    快速化學淬滅系統在液液混合裝置、細胞收集裝置和電磁反饋控制裝置共同作用下,細胞培養液與低溫細胞淬滅溶液得到充分混合,且細胞可瞬間降至低溫,有效抑制酶活力、代謝淬滅*,引入電磁反饋控制裝置和真空泵使終點的淬滅溶劑濃度可控,實現細胞培養液與低溫細胞淬滅溶液體積比的準確控制,使胞內代謝物數據真實可靠,各裝置之間相輔相成,實現對細胞進行及時、*代謝淬滅。快速化學淬滅系統采用上述系統進行代謝淬滅的方法,簡單易行,準確率高,為微生物、動物以及植物細胞的胞內代謝物研究提供技術支持。熒光淬滅...

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