深能級瞬態譜儀具有安全便捷的優點
更新時間:2020-07-10 點擊次數:1142
深能級瞬態譜儀是半導體領域研究和檢測半導體雜質、缺陷深能級、界面態等的重要儀器。根據半導體P-N結、金-半接觸結構肖特基結的瞬態電容(△C~t)技術和深能級瞬態譜(DLTS)的發射率窗技術測量出的深能級瞬態譜,是一種具有高檢測靈敏度(檢測靈敏度通常為半導體材料中摻雜濟濃度的萬分之一)的實驗方法,能檢測半導體中微量雜質、缺陷的深能級及界面態。
通過對樣品的溫度掃描,可以給出表征半導體禁帶范圍內的雜質、缺陷深能級及界面態隨溫度(即能量)分布的DLTS譜,集成多種全自動的測量模式及全面的數據分析,可以確定雜質的類型、含量以及隨深度的分布。深能級瞬態譜儀集成多種自動的測量模式及全面的數據分析,可以確定雜質的類型、含量以及隨深度的分布,也可用于光伏太陽能電池領域中。
該儀器測量界面態速度快,精度高,是生產和科研中可廣泛應用的測試技術,自動連線檢測,自動電容補償功能,探測靈敏度高,瞬態電流測量,深能級瞬態譜分析,可調的混合比例,1:1到1:100。
隨著電腦技術的發展,使得在短時間內進行復雜計算成為可能,在純指數發射過程模型的基礎上,用各種數學模型分析測量到的瞬態過程,如傅里葉轉換、拉普拉斯轉換、多指數瞬態擬合、ITS(等溫瞬態光譜)信號重疊法、溫度掃描信號重疊法(重折疊)。
深能級瞬態譜儀可更換SFM附件,應用于:化學淬滅,光學淬滅以及光學延時,冷凍淬滅,X-射線散射停流,中子色散停流,EPR停流,低溫停流,自動滴定,停流電導,快速混合溫度突變系統,微重力實驗研究等。