深能級瞬態(tài)譜儀2-半導體表征

深能級瞬態(tài)譜儀2-半導體表征

儀器簡介：
   美國高分辨深能級瞬態(tài)譜儀是半導體領域研究和檢測半導體雜質、缺陷深能級、界面態(tài)等的重要技術手段！測試功能：電容模式、定電容模式、電流模式、（雙關聯模式）、光激發(fā)模式、FET分析、MOS分析、等溫瞬態(tài)譜、Trap profiling、俘獲截面測量、I/V,I/V(T) 、C/V, C/V(T) 、TSC/TSCAP 、光子誘導瞬態(tài)譜、DLOS。
   測試根據半導體P-N結、金-半接觸結構肖特基結的瞬態(tài)電容（△C~t）技術和深能級瞬態(tài)譜的發(fā)射率窗技術測量出的深能級瞬態(tài)譜，是一種具有很高檢測靈敏度的實驗方法，能檢測半導體中微量雜質、缺陷的深能級及界面態(tài)。通過對樣品的溫度掃描，給出表征半導體禁帶范圍內的雜質、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度（即能量）分布的DLTS譜，集成多種全自動的測量模式及全面的數據分析，可以確定雜質的類型、含量以及隨深度的分布。
   也可用于光伏太陽能電池領域中，分析少子壽命和轉化效率衰減的關鍵性雜質元素和雜質元素的晶格占位，確定是何種摻雜元素和何種元素占位影響少子壽命。
   感謝中國科學院寧波材料研究所,國家硅材料深加工產品質量監(jiān)督檢驗中心 南昌大學 西安電子科技大學成為此設備的專業(yè)用戶??！
   此設備在全球用戶眾多，比歐洲設備性能價格比高，是研究材料深能級領域的理想工具??！

深能級瞬態(tài)譜儀2-半導體表征

系統配置:
DLTS數據采集及分析軟件  (DLTS, ODLTS, DDLTS)
Boonton 7200型快速電容測試器
自動電容零點界面
數據采集卡及中斷箱
ODLTS穿導件
機柜安裝硬件及電纜
設備機柜
GPIB 接口卡
電腦是雙核, 2GB 內存, 19"顯示器. USB 接口, CD書寫用于數據傳輸.
可調節(jié)探針(2)
閉環(huán)液氦制冷機 (25-700K)
溫度控制器

電容測試器指標:
型號: Boonton 7200
電容零點界面: Yes
全自動電容補償: Yes
全自動范圍設置: Yes
響應時間: ~25μsec
補償范圍: 256pF
測試頻率: 1MHz
測試信號級別: 15, 30, 50, 100 mV
電容范圍: 2000pF
靈敏度: 1fF
電壓范圍: +100V to –100V (Boonton)
         +10V to –10V (數據采集卡)
靈敏度:    1mV (電壓小于 20V時), 10mV (電壓大于 20V時)
         0.3mV (數據采集卡)
脈沖寬度:  15ms to >0.1sec (Boonton內置偏壓)
          5μs to >0.1sec (數據采集卡)
脈沖幅度:   到 200V, slew rate<20V/ms (Boonton)
           到 20V, slew rate of 20V/μs (數據采集卡)
電流:       5mA

數據采集卡瞬時記錄:
采樣速率: 可至 1μs. 一般使用 >50μs  
采樣次數: >10,000.
記錄分辨率: 50ns暫時分辨率, 優(yōu)于 50aF 電容分辨率
過濾: 全自動檢測及正弦噪音消除