勻膠機(jī)

儀器簡介：

   MIDAS為勻膠機(jī)(又稱為旋涂儀、甩膠機(jī)、Spin Coater等)的國際品牌，目前全球用戶超過1800臺(tái)，在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù)，高性價(jià)比。
   勻膠機(jī)有許多名稱：甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等, 主要應(yīng)用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作。其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
 適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
   馬達(dá)的皮實(shí)耐用性能及高速旋轉(zhuǎn)時(shí)轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和均勻性是進(jìn)口設(shè)備和國產(chǎn)設(shè)備的區(qū)別?。?br/>    此型號(hào)在國內(nèi)高校研究單位被廣泛使用，是進(jìn)口設(shè)備中性能價(jià)格比最高的型號(hào)，到貨期短（一般2周到貨），使用簡單（用戶均可自行安裝操作），維修快捷，3年內(nèi)正常使用不會(huì)出問題。

技術(shù)參數(shù)：
時(shí)間 Time : 1~999秒，可調(diào)節(jié)
基底尺寸 Substrate Size:   ~ 4英寸/~6英寸/~8英寸可選擇
卡盤旋轉(zhuǎn)速度 Chuck Rotation Speed :  300~8000 rpm，直流伺服馬達(dá)/交流伺服馬達(dá)
勻膠狀態(tài) Spin State:   50步，20個(gè)方案控制(數(shù)字程序編輯)
面板數(shù)字式編程，液晶顯示，操作方便
碗腔尺寸 Bowl Size:   8英寸，鋁(經(jīng)陽極氧化工藝)/12英寸，SUS
增/減速率 Accele/deceleration Rates:   可調(diào)節(jié)
真空卡盤 Vacuum Chuck :  鋁(陽極氧化)，乙縮醛(Acetal)
電源 Electrical Power :  220V, 5A
自帶無油真空泵 Oilless Vacuum Pump:   - 650 mmHg
尺寸(mm) Dimension:   230 X 340 X 260 / 390 X 570 X 280

主要特點(diǎn)：
1） 桌上型，涂膜厚度范圍：100nm~100um；
2） 可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機(jī)物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數(shù)的有機(jī)溶液、水溶液；
3） 緊湊型設(shè)計(jì)，用戶編輯、控制、存儲(chǔ)、取出涂膠程序，易于操作；
4） 加速及減速速率基于設(shè)定的時(shí)間/轉(zhuǎn)速(Ramp Time/RPM value)自動(dòng)計(jì)算；
5） 用戶通過前面板顯示屏和按鈕進(jìn)行編輯、控制、存儲(chǔ)、取出涂膠程序，并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作。