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該臺式原子層沉積鍍膜系統擁有達到或超過市場上其他品牌的功能,同時易于使用和維護 - 成本低于當今市場上的價格 腔室溫度:室溫到325°C±1°C; 前軀體溫度從室溫到 150 °C ± 2 °C(帶加熱夾套) 市場上最小的占地面積(2.5 平方英尺),臺式 安裝和潔凈室兼容 簡單的系統維護和實用程序和 市場上的前體使用
脈沖激光沉積鍍膜設備 激光在真空腔內照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態,然后被堆積到設在對面的基板上而成膜。PLD方法可以獲得擁有熱力學理論上準穩定狀態的組成和構造的人工合成新材料。
微型磁控濺射鍍膜設備 這款來自美國的微型磁控濺射系統滿足研究所和研發部門對真空薄膜沉積的性能要求,占用空間小,具有超高的性價比,可以向客戶提供優質的服務。
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