與傳統制備色譜相比,脈沖激光外延制備系統有哪些優點?
更新時間:2020-12-26 點擊次數:1171
脈沖激光外延制備系統簡單實用的PLD系統、磁控濺射系統,性能穩定的薄膜沉積系統,可提供PLD、磁控濺射、蒸發鍍膜等多種薄膜制備方案,是多鐵性薄膜制備的設備,*的石墨烯生長裝置可以制備高質量的石墨烯薄膜。
制備系統可制備的薄膜包括氮化物、氧化物、多層膜、石墨烯、碳納米管、2D材料,例如基片加熱裝置、原位監測工具。此外還為您提供標準的薄膜以及材料涂層,例如氧化物涂層、導電薄膜、無定型或納米晶、聚合物、納米鉆、鉆涂層以及器件加工。
系統利用磁性氧化物中固有的氧空位,不需要離子液體柵極,有利于廣泛應用于氧化物多鐵異質結構,簡化了設備的應用,此方法對利用離子運動調控多鐵材料電控磁性能提供了新的思路。與傳統制備色譜相比,有著高壓力,大流量,配備餾分收集器,具有更高的處理樣品能力,高精度梯度泵,可以實現梯度混合,雙泵頭設計降低了脈動,可以適應不同類型的色譜填料。
系統優點
1、應用范圍廣,制備純度高,可適應不同柱子和填料。
2、全自動化設計,從軟件上實現對儀器全程控制,達到智能化。
3、可選配3DS 層析過程分析工具軟件,強大全譜分析功能。
4、安全可靠,壓力報警,流量報警。
5、軟件調節氘燈能量,可延長使用壽命溶劑輸送系統。
脈沖激光外延制備系統將激光聚焦于靶材上一個較小的面積,利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發甚至電離,使其能夠脫離靶材而向基底運動,進而在基底上沉積,從而形成薄膜的一種方式。在眾多的薄膜制備方法中應用較為廣泛,可用來制備金屬、半導體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各種物質薄膜,甚至還用來制備一些難以合成的材料膜,如金剛石、立方氮化物膜等。