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等離子體原子/離子源-真空組件

簡要描述:等離子體原子/離子源-真空組件
產生感應耦合等離子體,包括氮氣,氧氣和氫氣等分子氣體。使用1個射頻線圈(頻率13.56MHz),能量將轉化為等離子體,這會產生僅具有低離子能量的"軟"等離子體。
我司提供的這款電子束蒸發源是由高質量,*與高真空兼容材料構成,并且可以烘烤至250℃。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-02-27
  • 訪  問  量:2628

詳細介紹

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域電子/電池,電氣,綜合

等離子體原子/離子源-真空組件

等離子體原子/離子源
   我司提供等離子體源是通過將氣體分離來產生感應耦合等離子體,包括氮氣,氧氣和氫氣等分子氣體。使用1個射頻線圈(頻率13.56MHz),能量將轉化為等離子體,這會產生僅具有低離子能量的"軟"等離子體。
我司提供的這款電子束蒸發源是由高質量,*與高真空兼容材料構成,并且可以烘烤至250℃。

等離子體原子/離子源-真空組件

應用范圍:
氧化物
氮化物
摻雜

配置參數:
多種型號不同功率RF等粒離子體源可選;
在等離子體源終端位置可添加離子束加熱器
自動匹配網絡
等粒子體監測
手動/自動 擋板
放電管
適用氣體,如O2, N2, H2, CH4等
占用空間小
冷卻水流量低,
氣體流速可控


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