飛行時間二次離子質譜2-材料表征

飛行時間二次離子質譜2-材料表征

儀器簡介：
飛行時間二次離子質譜（TOF-SIMS)是一種非常靈敏的表面分析技術。可以廣泛應用于物理，化學，微電子，生物，制藥，空間分析等工業和研究方面。TOF-SIMS可以提供表面，薄膜，界面以至于三維樣品的元素，分子等結構信息。

飛行時間二次離子質譜2-材料表征

技術參數：
. 并行探測所有離子，包括有機和無機分子碎片。
. 無限的質量探測范圍（實際測量中大于1000m/z 原子量單位）。
. *透過率下實現高的質量分辨率。
. 高的橫向和縱向空間分辨率（橫向小于100納米，縱向小于1納米）。
. 探測靈敏度可達ppm或ppb量級。
. 質量探測分辨率(M/ΔM) >1000
. 質量探測準確度 ≥20 milli 質量單位
. 反射性分析器
. 5 分鐘樣品腔真空度可從大氣環境達到真空工作環境

主要特點：
.  超高的表面靈敏度(1x109 atoms/cm2)
·  操作簡單(? day training)
· 1 分鐘分析，樣品處理流程<7分鐘
· 導體和絕緣體表面均可測試
· 可得到元素和分子信息
· 從元素中分離出普通有機物
· 正電和負電的 二次離子質譜
· 同位素分析
· 分析面積 ~0.5 mm
·  濺射預清洗表面
· 提供材料數據庫

專業科研型



MS-1000 簡易型，專業用于表面分析

• MS-1000 臺式型，用于固體表面分子結構定性分析

• MS-1000 是飛行時間二次離子質譜，屬于靜態模式的SIMS，對于樣品表面的分子非常敏感

• MS-1000 相比其它SIMS，比較便宜，性能價格比高，方便使用，15分鐘可以得到樣品表面信息。

• MS-1000專業設計用于質量控制和錯誤診斷，生產時的指標監測，以及其它表面分析手段做不到的領域.

• 質譜分析儀和離子槍設計成一體，使得MS-1000 成為最小的靜態二次離子質譜!

MS-1000應用領域包括:

• 分析涂層中的膠黏劑以及復合材料

• 半導體制備中的污染，藥物生產的準備和環境監測

• 生物體兼容性測試

• 快速檢測等離子體對樣品表面的處理和改性

• 涂料中預處理的有機粘合劑分析