半球電子能量分析器-真空組件 半球電子能量分析器半徑: 120mm 反轉角度: 180 deg.

磁控濺射源（1英寸/2英寸/3英寸）-真空組件 磁控濺射源/靶槍（1英寸/2英寸/3英寸）我們提供多種口徑的圓形平面靶槍,尺寸1“, 2“ and 3“. 以及矩形靶槍 安裝法蘭口徑：NW63CF，NW100CF 真空腔體內長度范圍：150-400mm 真空腔體內端面直徑：60-96 靶材直徑： 1“, 2“ and 3“ 靶材大厚

真空腔體水氣解吸附組件2 ZCUVE代表了水蒸氣解吸技術的新進展。*的設計可從2.75“擴展到8”法蘭尺寸，紫外線功率因數w按比例增加

射頻離子/原子源（可轉換）-真空組件 射頻離子源：用于離子束沉積，離子束輔助沉積，MEMS 射頻原子源：用于合成氧化物，氮化物，氫原子清洗

X射線光源-真空組件 X射線光源（可用于X射線電子能譜） 雙陽極X射線光源 多種陽極材料 具有差分抽氣或者從安裝口抽氣 70mm O.D. CF安裝法蘭