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校準晶圓標準品-半導體表征 污染晶圓標準品、校準晶圓標準品和二氧化硅顆粒晶圓標準品使用顆粒沉積系統生產,該系統將首先使用差分遷移率分析儀(DMA)分析PSL尺寸峰或二氧化硅尺寸峰。DMA是一種高精度顆粒掃描工具,結合凝聚態粒子計數器和計算機控制,基于NIST可追溯粒徑校準分離出高精度粒徑峰。一旦尺寸峰得到驗證,粒度流就被引導到主硅、晶圓標準表面。顆粒在沉積在晶圓表面上之前被計數,在晶圓上全部沉
表面光電壓譜--半導體表征 表面光電壓譜進行專業研究時,SPV010或者SPV020表面光電壓譜系統作為開爾文探針系統的升級配件,匹配共同工作。150瓦直流可控光強的石英鹵素燈可以達到開路電位來評估卷對卷硅太陽能電池的質量。
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俄歇電子能譜及電子衍射分析系統-材料表征 俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統電子槍: 型號 :帶可調焦距和束斑直徑的雙靜電透鏡 束流電壓:0-3KV 束流電流:大50uA 束流直徑:大800um 燈絲:鎢燈絲 磁罩:帶前置保護殼的Mu罩
表面光電壓譜系統-材料表征 表面光電壓譜系統150瓦直流可控光強的石英鹵素燈可以達到開路電位來評估卷對卷硅太陽能電池的質量,全數字化控制所有參數,包括光照強度和波長,該系統對樣品的質量,表面特性和缺陷狀態進行一體化的研究。
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