校準晶圓標準品-半導體表征

校準晶圓標準

污染晶圓標準品、校準晶圓標準品和二氧化硅顆粒晶圓標準品使用顆粒沉積系統生產，該系統將首先使用差分遷移率分析儀（DMA）分析PSL尺寸峰或二氧化硅尺寸峰。DMA是一種高精度顆粒掃描工具，結合凝聚態粒子計數器和計算機控制，基于NIST可追溯粒徑校準分離出高精度粒徑峰。一旦尺寸峰得到驗證，粒度流就被引導到主硅、晶圓標準表面。顆粒在沉積在晶圓表面上之前被計數，通常是在晶圓上全部沉積。或者，可以在晶圓周圍的特定位置沉積多達 8 個粒徑作為點沉積。晶圓標準品為KLA-Tencor Surfscan SP1、KLA-Tencor Surfscan SP2、KLA-Tencor Surfscan SP3、KLA-Tencor Surfscan SP5、Surfscan SPx、Tencor 6420、Tencor 6220、Tencor 6200、ADE、Hitachi和Topcon SSIS工具和晶圓檢測系統的尺寸校準提供高精度的尺寸峰。

差分遷移率分析儀，DMA電壓掃描，二氧化硅尺寸峰，100nm

PSL球體尺寸標準品和二氧化硅尺寸標準液由差分遷移率分析儀掃描，以確定真正的尺寸峰。一旦分析了尺寸峰，就可以將晶圓標準品沉積為全沉積或點沉積，或多點沉積晶圓標準品。掃描上方100納米（0.1微米）處的二氧化硅尺寸峰，DMA在101nm處檢測到真正的二氧化硅尺寸峰。

全沉積或點沉積晶圓標準品–顆粒沉積系統提供高精度的PSL校準晶圓標準品和二氧化硅污染晶圓標準品。

我們的 2300 XP1 顆粒沉積系統提供自動顆粒沉積控制，以生成您的 PSL 晶圓標準品和二氧化硅晶圓標準品。

PSL 校準晶圓標準、二氧化硅污染晶圓標準

顆粒沉積工具用于在晶圓標準品上沉積非常精確的PSL尺寸標準品或二氧化硅粒徑標準品，以校準各種晶圓檢測系統。

• PSL校準晶圓標準，用于校準使用低功率激光器掃描晶圓的晶圓檢測系統。

• 二氧化硅污染晶圓標準，用于校準使用高功率激光器掃描晶圓的晶圓檢測系統。

校準掩模標準或二氧化硅掩模標準

我們的 2300 XP1 在 75mm 至 300mm 晶圓直徑的硼硅酸鹽掩模和優質硅上沉積 NIST 可追溯、經過認證的掩模標準。

• 125mm 和 150mm 模板上的 PSL 校準模板標準

• 150mm口罩上的二氧化硅污染標準

• 75mm至300mm校準晶圓標準

• 75mm至300mm二氧化硅污染晶圓標準