薄膜電阻及厚度測試設備 可按照需求配置單個或多個針對不同樣品的高敏感探頭進行測量,并通過顯示模塊輸出。檢測終輸出結果可顯示為薄膜電阻(Ohms/sq),薄膜電導(Mhos/sq),厚度(單位:um)等。
真空快速退火爐-材料設備 一般都是以紅外鹵素燈為發熱元件,升溫速度極快,采用熱電偶測溫并采用*的PID控制,具有很高的控溫精度,快速退火爐具有真空裝置,可在多種氣氛下工作。大大提高了其使用范圍。
真空快速退火爐RTP-材料設備 RTA(快速熱退火); RTO(快速熱氧化);注入退火;擴散;化合物半導體退火;滲氮;滲硅; 結晶化與致密化;
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