狹縫擠出式涂布機沉積速率高，試驗周期短

　　歷史背景：

　　早于1916年，愛因斯坦（AlbertEinstein）已提出受激發射作用的假設。可是，首部以紅寶石棒為產生激光媒介的激光器，卻要到1960年，才由梅曼（TheodoreH.Maiman）在休斯實驗研究所建造出來。總共相隔了44年。使用激光來熔化物料的歷史，要追溯到1962年，布里奇（Breech）與克羅斯（Cross）利用紅寶石激光器，汽化與激發固體表面的原子。三年后，史密斯（Smith）與特納（Turner）利用紅寶石激光器沉積薄膜，視為脈沖激光沉積技術發展的源頭。

　　涉及高能量脈沖輻射沖擊固體靶時，激光與物質之間的所有物理相互作用，亦包括等離子羽狀物的形成，其后已熔化的物質通過等離子羽狀物到達已加熱的基片表面的轉移，及最后的膜生成過程。

　　狹縫擠出式涂布機主要優點：

　　1.易獲得期望化學計量比的多組分薄膜，即具有良好的保成分性。

　　2.沉積速率高，試驗周期短，襯底溫度要求低，制備的薄膜均勻。

　　3.工藝參數任意調節，對靶材的種類沒有限制。

　　4.發展潛力巨大，具有極大的兼容性。

　　5.便于清潔處理，可以制備多種薄膜材料。