有關脈沖激光沉積的發展歷程介紹

　　發展歷程：

　　脈沖激光沉積的發展與探究，處處受制。事實上，當時的激光科技還未成熟，可以得到的激光種類有限；輸出的激光既不穩定，重復頻率亦太低，使任何實際的膜生成過程均不能付諸實行。因此，PLD在薄膜制作的發展比其它技術落后。以分子束外延（MBE）為例，制造出來的薄膜質素就優良得多。

　　往后十年，由于激光科技的急速發展，提升了PLD的競爭能力。與早前的紅寶石激光器相比，當時的激光有較高的重復頻率，使薄膜制作得以實現。隨后，可靠的電子Q開關激光（electronicQ-switcheslasers）面世，能夠產生極短的激光脈沖。因此，PLD能夠用來做到將靶一致蒸發，并沉積出化學計量薄膜。由于紫外線輻射，薄膜受吸收的深度較淺。之后發展出來的高效諧波激光器（harmonicgenerator）與激基分子激光器（excimer）甚至可產生出強烈的紫外線輻射。自此以后，以非熱能激光熔化靶物質變得極為有效。

　　主要優點

　　1.易獲得期望化學計量比的多組分薄膜，即具有良好的保成分性；

　　2.沉積速率高，試驗周期短，襯底溫度要求低，制備的薄膜均勻；

　　3.工藝參數任意調節，對靶材的種類沒有限制；

　　4.發展潛力巨大，具有很大的兼容性；

　　5.便于清潔處理，可以制備多種薄膜材料。